塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能參數(shù)的測(cè)量方法

取樣體積

取樣體積測(cè)量主要包含塵埃粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)置流量計(jì)流量誤 差以及計(jì)時(shí)器計(jì)時(shí)誤

差。流量誤差需要在10000級(jí)的潔凈室進(jìn)行，由于流量計(jì)的測(cè)量結(jié)果與測(cè)量環(huán)境有

關(guān)，因此測(cè)量前需記錄測(cè)量時(shí)的溫度、濕度以及大氣壓力。流量誤差測(cè)量是將標(biāo)準(zhǔn)

流量計(jì)接到塵埃粒子計(jì)數(shù)器的采樣口，標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)相對(duì)誤差應(yīng)不超過(guò)±1.5%，塵埃

粒子計(jì)數(shù)器顯示結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)測(cè)試結(jié)果比較從而得到流量誤差。計(jì)時(shí)器計(jì)時(shí)誤

差是將塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試結(jié)果與秒表測(cè)試結(jié)果比較得到的，秒表分度值至少為

0.01s。

塵埃粒子計(jì)數(shù)器流量誤差應(yīng)不超過(guò)±5%，計(jì)時(shí)誤差應(yīng)不超過(guò)±1%。

尺寸校準(zhǔn)

尺寸校準(zhǔn)時(shí)，根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量范圍將單一尺寸的 標(biāo)準(zhǔn)乳膠球顆粒懸浮于

潔凈干燥的空氣中，濃度約為zui大飽和濃度的10%左右，讓塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)測(cè)，

同時(shí)采用示波器或脈沖高度分析儀監(jiān)測(cè)儀器的輸出信號(hào)，示波器或脈沖高度分析儀

監(jiān)測(cè)儀器顯示的中值電壓即為塵埃粒子計(jì)數(shù)器所選粒徑檔相應(yīng)尺寸對(duì)應(yīng)的閾值電

壓。

根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量范圍至少選取3種單一尺寸的標(biāo)準(zhǔn)乳膠球顆粒，得到所選

粒徑檔相應(yīng)尺寸對(duì)應(yīng)的閾值電壓，并根據(jù)廠商推薦的計(jì)算公式，計(jì)算其他粒徑檔相

應(yīng)尺寸對(duì)應(yīng)的閾值電壓。

偽計(jì)數(shù)

JJF1190-2008是采用自凈時(shí)間來(lái)對(duì)偽計(jì)數(shù)進(jìn)行考核的。塵 埃粒子計(jì)數(shù)器先對(duì)實(shí)驗(yàn)

室環(huán)境測(cè)量1min后，將塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣口接過(guò)濾器，使塵埃粒子計(jì)數(shù)器處

于自凈狀態(tài)，開(kāi)始計(jì)時(shí)，連續(xù)進(jìn)行計(jì)時(shí)，塵埃粒子計(jì)數(shù)器連續(xù)三次測(cè)量結(jié)果為零時(shí)

停止計(jì)時(shí)，從儀器開(kāi)始自凈到停止計(jì)時(shí)之間的時(shí)間為自凈時(shí)間，自凈時(shí)間要求不大

于10min。

標(biāo)準(zhǔn)是自凈1h后，連續(xù)測(cè)量20min以上，15min內(nèi)塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)結(jié)果為

0，25min內(nèi)塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)結(jié)果不能超過(guò)1個(gè)，50min內(nèi)塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)結(jié)

果不能超過(guò)4.6個(gè)。

zui大飽和濃度

塵埃粒子計(jì)數(shù)器在測(cè)量時(shí)，由于傳感區(qū)重合效應(yīng)的存在， 隨著顆粒數(shù)量的增加，

儀器檢測(cè)到的顆粒數(shù)量將會(huì)小于實(shí)際的顆粒數(shù)量，并隨顆粒數(shù)量的增多而誤差增

加。測(cè)量方法是根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量范圍選擇與zui小粒徑檔相應(yīng)尺寸相同的單

分散球形顆粒，根據(jù)廠商給出的參考zui大飽和濃度采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形

顆粒，采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行計(jì)數(shù)，然后調(diào)節(jié)稀釋流量為原來(lái)流量的 1 /2 ，同

時(shí)采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行計(jì)數(shù)測(cè)試結(jié)果應(yīng)為原來(lái)測(cè)試結(jié)果的50%±10%，如果大于

60%則廠商給出的參考zui大飽和濃度過(guò)高則降低顆粒數(shù)量濃度直至滿足50%±10%的

要求。此時(shí)測(cè)量的顆粒數(shù)量濃度即為塵埃粒子計(jì)數(shù)器的zui大飽和濃度。

計(jì)數(shù)響應(yīng)

當(dāng)塵埃粒子計(jì)數(shù)器使用的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，一些顆?？赡軙?huì)在傳 感器中形成沉積物，影

響下一次測(cè)量結(jié)果。計(jì)數(shù)響應(yīng)測(cè)量方法根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量范圍選擇與zui小粒

徑檔相應(yīng)尺寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒使其濃

度接近zui大飽和濃度，使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器連續(xù)測(cè)量10次，取zui后一次測(cè)試結(jié)果，

在塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣口接過(guò)濾器測(cè)試10s后，檢測(cè)粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球

形顆粒取*次測(cè)試結(jié)果，兩次測(cè)試結(jié)果進(jìn)行比較，誤差應(yīng)在±10%之內(nèi)。

分辨率

在實(shí)測(cè)分辨率時(shí)，可采用單分散的標(biāo)準(zhǔn)乳膠球顆粒，顆粒尺寸為塵埃粒子計(jì)數(shù)器zui

小粒徑檔對(duì)應(yīng)尺寸的2倍，采用粒子發(fā)生器發(fā)生，粒子為zui大飽和濃度10%，根據(jù)塵

埃粒子計(jì)數(shù)器尺寸校準(zhǔn)曲線計(jì)算出標(biāo)準(zhǔn)偏差，

計(jì)數(shù)效率

隨著顆粒尺寸的減小，計(jì)數(shù)效率會(huì)逐漸降低，因此需對(duì)zui 小粒徑檔計(jì)數(shù)結(jié)果進(jìn)行

考核。計(jì)數(shù)效率測(cè)量方法是根據(jù)塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量范圍選擇與zui小粒徑檔相應(yīng)尺

寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒，使其濃度約為zui

大飽和濃度的25%，采用參考粒子計(jì)數(shù)器與待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)檢測(cè)，參考粒

子計(jì)數(shù)器可測(cè)量的zui小顆粒尺寸應(yīng)小于待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)器可測(cè)量的zui小顆粒尺

寸，參考粒子計(jì)數(shù)器可選用CPC（凝聚核粒子計(jì)數(shù)器）或塵埃粒子計(jì)數(shù)器，但它的

計(jì)數(shù)效率應(yīng)小于5%，待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)結(jié)果與參考粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)結(jié)果比值

應(yīng)在30%～70%。選擇zui小粒徑檔相應(yīng)尺寸的1.5～2倍的單分散球形顆粒，采用粒子

發(fā)生器發(fā)生單 分散球形顆粒使其濃度約為zui大飽和濃度的25%，待檢塵埃粒子計(jì)數(shù)

器檢測(cè)結(jié)果與參考粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)結(jié)果比值應(yīng)在90%～110%。