在測試無塵室之前,若是能對測試規(guī)范、無塵室基本概念、無塵室的術(shù)語等有些了解,對測試當(dāng)有幫助。這里是一些背景資料,提供給讀者參考。
有關(guān)無塵室定義、建造、控制、管理等等的標(biāo)準(zhǔn),在網(wǎng)絡(luò)上用〝contamination control〞搜尋,可以找到很多相關(guān)數(shù)據(jù)。無塵室的定義,zui早是在美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn),之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本,隨著工業(yè)的日益發(fā)展,各國的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年代后期,產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無共同標(biāo)準(zhǔn),就不能實現(xiàn)經(jīng)濟的化,于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說明無塵室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E,209的出版發(fā)行,是在1960年代,之后不斷改版以因應(yīng)科技進步與工業(yè)發(fā)展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的zui后一版209E。在2001年11月29日,美國正式宣布廢止209E,改用ISO-14644,于是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、中國臺灣、與中國大陸,都還沿用209E。微粒計數(shù)器的制造商,雖然都推出滿足公制計數(shù)法的新機型,但是要等舊機器*淘汰,恐怕還要很長時間,因此新規(guī)范ISO-14644還沒能取代209E。
2.ISO-14644系列;美國政府為了推動經(jīng)濟化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公制的標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個子題<Part>,稱為14644-1,14644-2,一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監(jiān)視的規(guī)范、測試的程序方法、設(shè)計與建造、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等,范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案,如Part 1和Part 2,有些只有初稿<Draft>,有些連初稿都還沒有,讀者可以到ISO或IEST的上訂購。
3.JIS B9920 (1989):日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn),規(guī)定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式,及潔凈度的等級定義。
4.VDI 2083 (1993):德國的潔凈標(biāo)準(zhǔn),規(guī)定潔凈度等級的定義方式,以及潔凈度的測量技術(shù)。
5.Gost-R 50766 (1995):俄的潔凈標(biāo)準(zhǔn),定義無塵室的分類與一般需求。
以上是無塵室等級規(guī)定,與潔凈度測量的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。另外有關(guān)無塵室污染控制<也就是潔凈度控制>,和環(huán)境控制<如溫濕度、震動噪音等>,也有一些重要的測試規(guī)范,因為這些環(huán)境影響因素,都包含在無塵室性能測試的范圍之內(nèi)。
1.IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規(guī)范,目的就是為了補209的不足。209只有微粒測量,006 包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測試、照度等。006 的*版稱為006-84-T,006.2是第二版?,F(xiàn)在由于 NEBB 的興起,0062已經(jīng)功成身退,逐漸消失了。
2.NEBB 無塵室測試規(guī)范第二版:這是目前zui廣為流行的測試規(guī)范,提到無塵室認(rèn)證,就非 NEBB 莫屬。NEBB 無塵室測試規(guī)范,可說是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋范圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn),儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。因此 NEBB 無塵室測試規(guī)范的出現(xiàn),解決了不少測試的爭議,也因此 NEBB 無塵室測試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān) NEBB,請參照本站 NEBB。
3.ISO-14698 系列:14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個子題,是有關(guān)無塵室里面生物污染的控制,目前都只有初稿。
每一種行業(yè),甚至每一家公司或工廠,對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規(guī)范,雖然以可滿足大部份廠商的需求,但是嚴(yán)格來講,這些規(guī)范也只是一個參考。各公司在訂定測試規(guī)格時,應(yīng)依照自己的制程需求,在上述規(guī)范里取出自己適用的部份,并要求供貨商與測試單位照辦,必要時可以酌情修改測試標(biāo)準(zhǔn),才能真正滿足自己的需求。
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